產(chǎn)品細節(jié):AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器
AX8407A 0190-17159 是 MKS Instruments 生產(chǎn)的一款高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器。以下是該產(chǎn)品的詳細信息:
- 產(chǎn)品概述:
- AX8407 發(fā)生器通過無聲電放電將純氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧,實現(xiàn)高輸出和高濃度水平。它只需要極少量的摻雜氮氣,遠低于競爭性臭氧發(fā)生器所需的水平。因此,污染物(如 NOx 化合物)的存在極低 32。
- 主要特點:
- 高臭氧濃度和流量:臭氧濃度可達 335 g/Nm3 或 21.7 wt%(在 5°C 時),氧氣流量范圍為 5 – 40 slm,提供工藝靈活性 33。
- 清潔、安全的替代化學(xué)處理:臭氧具有高氧化還原電位,可以在現(xiàn)場生成,并且容易轉(zhuǎn)化為氧氣,是一種綠色化學(xué)品,易于轉(zhuǎn)化為氧氣 33。
- 低成本擁有:無需消耗品,無需化學(xué)處理成本 33。
- 可靠性和合規(guī)性設(shè)計:可靠性測試超過 100,000 小時,符合 CE、UL/CSA 和 SEMI F47 標準 33。
產(chǎn)品參數(shù):AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器
- 臭氧輸出:臭氧輸出為 335 g/Nm3(在 5°C 冷卻水時),305 g/Nm3(在 17°C 冷卻水時) 32。
- 氧氣流量范圍:5 – 40 slm 32。
- 操作范圍:環(huán)境溫度 10 – 40°C(50 – 104°F),名義電池壓力(輸送)15 – 45 psig(100 – 310 kPa) 32。
- 控制接口:前面板控制和遠程操作 32。
- 進氣氣體:氧氣:6級或更好 O2,氮氣:100 – 1000 ppm 5級或更好 N2 32。
- 冷卻水溫度:5 – 25°C(41 – 77°F) 32。
- 冷卻水過濾:100 微米 32。
- 冷卻水質(zhì)量:電阻率 ≥ 50 KΩ/cm 32。
- 最小水流量:7.6 lpm(2.0 gpm) 32。
- 電源電壓:208 VAC(±10%) 32。
- 相位:3? & GND,無中性 32。
- 電流要求:15 安培 32。
- 頻率:50/60 Hz 32。
- 重量:59 kg(130 磅) 32。
- 尺寸:483 x 445 x 267 mm(19.0 x 17.5 x 10.5 英寸)(寬度 x 深度 x 高度)
AX8407A 0190-17159 高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器 應(yīng)用領(lǐng)域:
-
- 典型的半導(dǎo)體臭氧應(yīng)用包括 TEOS/臭氧 CVD、Ta2O5 CVD、光刻膠剝離、晶圓清洗、污染物去除、表面調(diào)理、氧化物生長和 ALD。臭氧也非常適合用于制藥和水處理應(yīng)用,包括清洗、消毒和消毒,以及原位清潔(CIP) 32。
- 產(chǎn)品優(yōu)勢:
- 高純度臭氧:AX8407 是市場上純度的臭氧發(fā)生器,通過無聲電放電將純氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧,實現(xiàn)輸出濃度水平 35。
- 電池結(jié)構(gòu)設(shè)計:能夠生產(chǎn)高濃度臭氧,閉環(huán)操作提供更嚴格的工藝控制
Product Description
The AX8407A 0190-17159 is a high concentration, high flow ozone generator manufactured by MKS Instruments. Here are the details of the product:
Product Overview:
The AX8407 generator converts pure oxygen to ozone by silent electrical discharge, achieving high output and high concentration levels. It requires only a very small amount of doped nitrogen, far less than the level required for competitive ozone generators. As a result, the presence of pollutants, such as NOx compounds, is extremely low.
Main features:
High ozone concentrations and flows: Ozone concentrations up to 335 g/Nm3 or 21.7 wt% (at 5°C) and oxygen flows in a range of 5-40 slm provide process flexibility.
Clean, safe alternative chemical treatment: Ozone has a high REDOX potential, can be generated on site, and is easily converted to oxygen, is a green chemical that is easily converted to oxygen.
Low cost ownership: no consumables, no chemical processing costs.
Reliability and Compliance design: Over 100,000 hours of reliability testing, compliant with CE, UL/CSA and SEMI F47 standards.
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