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DV系列隔膜閥

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

工作壓力:真空至300psig(低壓) 真空至3000psig(高壓) ｜ 材質(zhì):316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~60℃(低壓) -10℃~40℃(高壓)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹 

 

DV系列隔膜閥，膜片式硬密封結(jié)構(gòu)，超低泄漏率；適用于超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體，滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。

 

主要部件材料 

 

閥體              316L /316L（VIM+VAR） 

膜片           Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022

密封墊        PCTFE

手柄           6063

  

工作條件

 

工作壓力              真空至 300psig, 真空至 3000psig 

爆破壓力             低壓 3000psig, 高壓 9000psig

流量系數(shù)            1/4" 為 0.25 , 1/2" 為 0.35，1/2"HF 為 0.7

工作溫度            低壓 -10 ～ 60℃ , 高壓 -10 ～ 40℃ 

內(nèi)漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

內(nèi)表面粗糙度     Ra ≤ 0.1μm

 

產(chǎn)品特點(diǎn) 

 

適合超高純度氣體應(yīng)用

高低壓兩種閥型

Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片

每臺(tái)閥門(mén)進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測(cè)

 

關(guān)鍵詞：隔膜閥
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