BREIN 光學(xué)大面積涂裝線生產(chǎn)控制軟件

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  薄膜分析設(shè)計(jì)軟件

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

大面積涂裝的生產(chǎn)通常涉及到涂裝線中的許多濺射陰極，每一個(gè)陰極都會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)的不確定性

詳細(xì)介紹

大面積涂裝的生產(chǎn)通常涉及到涂裝線中的許多濺射陰極，每一個(gè)陰極都會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)的不確定性。

光學(xué)生產(chǎn)控制是必要的，它可以在線提供目前生產(chǎn)的涂層信息。在大多數(shù)情況下，當(dāng)最終產(chǎn)品離開真空時(shí)，透射率、反射率或橢偏光譜被記錄在陰極組之間或直接在涂裝線后面：

以CODE軟件(薄膜產(chǎn)品分析與設(shè)計(jì)程序)為基礎(chǔ)開發(fā)了BREIN軟件包，該軟件包主要用于大型涂裝線中多層涂層的光控制生產(chǎn)。BREIN的全稱是BRight Eye INspection network:它管理著幾個(gè)被稱為“BRight Eyes"(BE)的觀測(cè)站，這些站點(diǎn)分析涂裝線內(nèi)或之后某個(gè)特定位置的光譜：

在對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行分析之前，每個(gè) BE 都要提取出生產(chǎn)線上前一個(gè)BE獲取的結(jié)果。這種方法只需要分析個(gè)BE之后新沉積的層——每一個(gè)BE的計(jì)算工作量通常都很低，甚至可以在速度較慢的嵌入式計(jì)算機(jī)上完成。另外，幾個(gè)BE分析步驟可以在同一臺(tái)計(jì)算機(jī)上完成。主BREIN應(yīng)用程序收集BE結(jié)果并顯示產(chǎn)品的當(dāng)前狀態(tài)。作業(yè)人員可以利用這些信息對(duì)生產(chǎn)條件的變化做出決策。下面的圖表顯示了典型的BREIN設(shè)置方案。在亮眼觀測(cè)站BE1……BE4記錄的光譜被存儲(chǔ)在一個(gè)服務(wù)器上，并在兩臺(tái)計(jì)算機(jī)(PC 1 和 PC 2)上進(jìn)行分析。

分析結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)設(shè)備上的數(shù)據(jù)庫中:

可以通過各種方式過濾和查看數(shù)據(jù)庫內(nèi)容，提供關(guān)于生產(chǎn)歷史的信息。在操作層，重要的涂層參數(shù)以圖形方式顯示，藍(lán)色表示過高，紅色表示過低。參數(shù)值的警告級(jí)別用紅線表示。操作人員可以方便地查看涂層參數(shù)的時(shí)間變化，如下屏截圖所示:

掃描窗格的亮眼觀測(cè)站可以計(jì)算和導(dǎo)出獲得參數(shù)輪廓的統(tǒng)計(jì)參數(shù)。確定各參數(shù)的平均值、標(biāo)準(zhǔn)差和范圍。您可以為這些值定義規(guī)格，并將窗格劃分為“Good"或“Bad"，這取決于與配置文件統(tǒng)計(jì)信息相關(guān)的窗格性能。

BREIN可以耦合到被廣泛用于大面積涂布的Zeiss OptoPlex NG.Q 系統(tǒng)上。

BREIN可以連接到外部SQL數(shù)據(jù)庫來導(dǎo)出生產(chǎn)控制結(jié)果。

關(guān)鍵詞：涂裝線生產(chǎn)線

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