上海納騰儀器有限公司
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上海納騰儀器有限公司
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產(chǎn)品型號F30
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時間：2025-01-12 13:16:07瀏覽次數(shù)：38次
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一、 簡介
測量原理-光譜反射
光譜橢圓偏振儀 (SE) 和光譜反射儀 (SR) 都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體，和金屬薄膜的厚度和 折射率。 兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光, 而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光。光譜反射儀測量的是垂直光，它忽略偏振效應(yīng) （絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對稱）。 因為不涉及任何移動設(shè)備，光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間，兩種技術(shù)都可用。 而且具有快速，簡便，成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇。
二、 主要功能
l 主要應(yīng)用
測量沉積率、沉積層厚度、光學(xué)常數(shù) (n 和 k 值) 和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性
? 平滑和半透明薄膜
? 輕度吸收薄膜
? 實時測量膜厚
l 技術(shù)能力
光譜波長范圍：380-1050 nm
厚度測量范圍：15nm-70 μm
極大地提高生產(chǎn)力
低成本：幾個月就能收回成本
A精確 ：測量精度高于 ±1%
快速：幾秒鐘完成測量
非侵入式：在沉積室以外進(jìn)行測試
易于使用：直觀的 Windows™ 軟件
幾分鐘就能準(zhǔn)備好的系統(tǒng)
三、 應(yīng)用
半導(dǎo)體制造：光刻膠、氧化物、氮化物
液晶顯示器：液晶間隙、聚酰亞胺保護(hù)膜、納米銦錫金屬氧化物
生物醫(yī)療原件：聚合物/聚對二甲苯涂層、生物膜/氣泡球厚度、藥物涂層支架
微機(jī)電系統(tǒng)：硅膜、氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡
光學(xué)鍍膜：硬鍍膜、增透鍍膜、Filters濾光
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