上海納騰儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)SPA-4000
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時(shí)間:2025-01-13 07:07:34瀏覽次數(shù):43次
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SPA系列可以提供精確的、非接觸、無損膜厚度測量,適用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜,在干涉條紋產(chǎn)生的基礎(chǔ)上通過改變角度產(chǎn)生干涉條紋(VAMFO-變角度單色條紋觀測)的方法。對(duì)于厚膜折射率的測量,單色光被直接照射到被測樣品上,這樣,從薄膜表面反射回來的光的干涉最小值就會(huì)發(fā)生變化,光的入射角也會(huì)發(fā)生變化。在這種技術(shù)中,薄膜厚度是由兩個(gè)干涉最小值的角的位置計(jì)算出來的。對(duì)于這種測量條件——薄膜具有兩個(gè)或兩個(gè)以上的干擾最小值——薄膜厚度必須大于脫粒率,通常為2微米。樣品夾持機(jī)采用真空從背面支撐樣品,安裝方便簡單。可測量薄膜/基底的類型,硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質(zhì)、聚合物或薄膜??蓽y量的薄膜/襯底類型:氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。
采用帶溫控臺(tái)的SPA-4000雙棱鏡對(duì)材料薄膜的光熱學(xué)系數(shù)進(jìn)行了測量,材料的光熱系數(shù)被定義為折射率隨溫度變化的函數(shù),可以被用作光學(xué)數(shù)字開關(guān),Mach-Zehnder間距式和交叉式光學(xué)開關(guān),這些光器件通過改變溫度來控制光路,在網(wǎng)絡(luò)通信中起著關(guān)鍵作用。該材料中泛引用的光學(xué)效應(yīng)理論P(yáng)rod’homme理論
產(chǎn)品特性:
1. 薄膜及波導(dǎo)折射率/厚度/光損測量
2. 折射率和薄膜厚度的高分辨率測量
3. 高精度測量散裝或基材材料
4. 雙層薄膜測量(甚至在波長1310 nm或1550 nm處有幾個(gè)~?厚度)
5. 不相關(guān)的薄膜/基板組合
6. 無需預(yù)先知識(shí),操作簡單。
7. 批量或基板材料的高精度測量
8. 各向異性/雙折射測量(TE和TM能力)
9. 快速表征
10. 可用于波長范圍內(nèi)的許多激光器(632.8nm~1550nm)
技術(shù)指標(biāo):
測量指標(biāo) | 范圍 | |
折射率 | 折射率測量范圍 | 1.0 to 2.45 |
折射率精度 | 0.001 | |
折射率分辨率 | ±0.0005 | |
厚度 | 厚度測量范圍 | 0.4?-20? |
厚度精確度 | ±0.5% | |
厚度分辨率 | ±0.01? | |
體材料 | 折射率精度 | 0.0005 |
(僅測折射率) | 折射率分辨率 | ±0.0001 |
厚薄膜 | 厚度測量范圍 | 2?-150? |
液體 | 折射率測量范圍 | 1.0 to 2.4 |
(僅測折射率) | 折射率精度 | ± 0.0005 |
熱光系數(shù) | 溫度測試范圍 | 室溫-150℃ |
波導(dǎo)損耗測量 | 測量限度 | below 0.05dB/cm |
三、應(yīng)用
光通信系統(tǒng)的光學(xué)元件
- 光學(xué)開關(guān)
- 用于WDM的可變光衰減器(VOA)(波分復(fù)用)
- 低光傳播損耗
塑料光纖(POF)
- 用于光通信的塑料光纖放大器(POFA)
- 用于波導(dǎo)的高溫聚合物
溫度依賴性
聚合物的性質(zhì)
- 研究聚合物的鉻性質(zhì)
- 信息顯示和處理
- 存儲(chǔ)材料
納米器件:MEMS,微電子
應(yīng)用領(lǐng)域:
使用SPA系列棱鏡耦合儀可以測量所有類型的薄膜/基材。具體請參看下面表格。
這些散裝和獨(dú)立式膠片是可測量的。
薄膜類型 | 襯底類型 | |
氮化硅 | 氮化硅 | 硅 |
二氧化硅 | ITO | 砷化鎵 |
硅氮氧化物 | 藍(lán)寶石 | 石英 |
Low-K Films | 硫化鋅 | 玻璃 |
聚酰亞胺 | 藍(lán)寶石 | |
聚合物 | Epi石榴石 | GGG |
光刻膠 | 全息凝膠 | 鈮酸鋰 |
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