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棱鏡耦合儀

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產(chǎn)品型號(hào)SPA-4000

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2025-01-13 07:07:34瀏覽次數(shù):43次

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商鋪產(chǎn)品:166條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

SPA系列可以提供精確的、非接觸、無損膜厚度測量,適用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜,在干涉條紋產(chǎn)生的基礎(chǔ)上通過改變角度產(chǎn)生干涉條紋(VAMFO-變角度單色條紋觀測)的方法。對(duì)于厚膜折射率的測量,單色光被直接照射到被測樣品上,這樣,從薄膜表面反射回來的光的干涉最小值就會(huì)發(fā)生變化,光的入射角也會(huì)發(fā)生變化。在這種技術(shù)中,薄膜厚度是由兩個(gè)干涉最小值的角的位置計(jì)算出來的。對(duì)于這種測量條件——薄膜具有兩個(gè)或兩個(gè)以上的干擾最小值——薄膜厚度必須大于脫粒率,通常為2微米。樣品夾持機(jī)采用真空從背面支撐樣品,安裝方便簡單。可測量薄膜/基底的類型,硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質(zhì)、聚合物或薄膜??蓽y量的薄膜/襯底類型:氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。

采用帶溫控臺(tái)的SPA-4000雙棱鏡對(duì)材料薄膜的光熱學(xué)系數(shù)進(jìn)行了測量,材料的光熱系數(shù)被定義為折射率隨溫度變化的函數(shù),可以被用作光學(xué)數(shù)字開關(guān),Mach-Zehnder間距式和交叉式光學(xué)開關(guān),這些光器件通過改變溫度來控制光路,在網(wǎng)絡(luò)通信中起著關(guān)鍵作用。該材料中泛引用的光學(xué)效應(yīng)理論P(yáng)rod’homme理論

產(chǎn)品特性:

1. 薄膜及波導(dǎo)折射率/厚度/光損測量

2. 折射率和薄膜厚度的高分辨率測量

3. 高精度測量散裝或基材材料

4. 雙層薄膜測量(甚至在波長1310 nm或1550 nm處有幾個(gè)~?厚度)

5. 不相關(guān)的薄膜/基板組合

6. 無需預(yù)先知識(shí),操作簡單。

7. 批量或基板材料的高精度測量

8. 各向異性/雙折射測量(TE和TM能力)

9. 快速表征

10. 可用于波長范圍內(nèi)的許多激光器(632.8nm~1550nm)


技術(shù)指標(biāo):

測量指標(biāo)

范圍

折射率

折射率測量范圍

1.0 to 2.45

折射率精度

0.001

折射率分辨率

±0.0005

厚度

厚度測量范圍

0.4?-20?

厚度精確度

±0.5%

厚度分辨率

±0.01?

體材料

折射率精度

0.0005

(僅測折射率)

折射率分辨率

±0.0001

厚薄膜

厚度測量范圍

2?-150?

液體

折射率測量范圍

1.0 to 2.4

(僅測折射率)

折射率精度

± 0.0005

熱光系數(shù)

溫度測試范圍

室溫-150℃

波導(dǎo)損耗測量

測量限度

below 0.05dB/cm


三、應(yīng)用

光通信系統(tǒng)的光學(xué)元件

- 光學(xué)開關(guān)

- 用于WDM的可變光衰減器(VOA)(波分復(fù)用)

- 低光傳播損耗

塑料光纖(POF)

- 用于光通信的塑料光纖放大器(POFA)

- 用于波導(dǎo)的高溫聚合物

溫度依賴性

聚合物的性質(zhì)

- 研究聚合物的鉻性質(zhì)

- 信息顯示和處理

- 存儲(chǔ)材料

納米器件:MEMS,微電子


應(yīng)用領(lǐng)域:

使用SPA系列棱鏡耦合儀可以測量所有類型的薄膜/基材。具體請參看下面表格。

這些散裝和獨(dú)立式膠片是可測量的。

薄膜類型

襯底類型

氮化硅

氮化硅

二氧化硅

ITO

砷化鎵

硅氮氧化物

藍(lán)寶石

石英

Low-K Films

硫化鋅

玻璃

聚酰亞胺

藍(lán)寶石

聚合物

Epi石榴石

GGG

光刻膠

全息凝膠

鈮酸鋰



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