CFD 系列圖片

全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達(dá)1.0mL/shot、精細(xì)流量調(diào)節(jié)的化學(xué)液補充系統(tǒng)●高分辨率最小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過量添加或液體浪費。