愛德華分子泵EXT75DX
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- 上海萬庫真空設(shè)備有限公司
- 2017-04-06 20:49:23
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【簡單介紹】
【詳細說明】
功能和優(yōu)勢
· 通過板上智能控制可以降低運行功耗，減少運行成本。此外，這種控制器還增加了電子制動、智能冷卻風扇和自動排氣選件。
· 與 Edwards TIC 渦輪與儀表控制器兼容意味著您可以添加一個或多個真空計而不需要額外的顯示控制器。
· 并行或串行接口。
o 并行模式允許使用傳統(tǒng)控制信號界面。
o 串行模式提供 RS232，可以全面控制泵狀態(tài)，并連續(xù)監(jiān)控：
§ 排氣閥控制設(shè)置
§ 運行速度指示
§ 待機運行速度
§ 可編程功率設(shè)置
§ 功耗
§ 泵/控制器溫度
· 標配的入口篩網(wǎng)。
· 用于清潔泵、減少振動和zui大程度降低磨損的永磁上軸承。
· 手動排氣閥（電磁閥操作的型號可以用于全自動排氣）。
· Holweck 分級實現(xiàn)高吞吐量和高前級壓力容差。
· 氣體清洗口提供制程氣體稀釋以保護電機和下軸承。
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭 | DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
抽速 ISO63/63CF （DN40NW）（ISO100） | |
N2 | 61 ls-1 （42 ls-1） （66 ls-1） |
He | 57 ls-1 （49 ls-1） （59 ls-1） |
H2 | 53 ls-1 （48 ls-1） （54 ls-1） |
壓縮比 | |
N2 | >1 × 1011 |
He | 1 x 106 |
H2 | 5 x 104 |
極限壓力 （mbar） | |
帶有 RV 前級泵 ISO/CF | <5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
帶有隔膜前級泵 ISO/CF | <5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
出口法蘭 | DN16NW |
*前級泵* | RV5/nXDS5i |
排氣口 | 1/8 英寸 BSP |
吹掃口 | 1/8 英寸 BSP |
zui大連續(xù)進氣口壓力（輕氣體泵送）† | |
水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） | 2 × 10-2 mbar |
強制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 | 1 × 10-2 mbar |
泵旋轉(zhuǎn)速度 | |
標稱旋轉(zhuǎn)速度 | 90000 rpm |
待機旋轉(zhuǎn)速度 | 在 49500 至 90000 rpm 之間變化 |
可編程功率限制設(shè)置 | 可在 50 至 120 W 之間變化（默認為 80 W） |
到 90% 速度的啟動時間 | 110 s ‡ |
模擬輸出 | 轉(zhuǎn)速； |
冷卻方法# | 強制空氣/水 |
強制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 | 5 - 35 °C |
zui小冷卻水流速（15 °C 的水） | 15 l h-1 |
水溫范圍 | 10 - 20 °C |
zui高入口法蘭溫度 | 100 °C |
操作姿態(tài) | 垂直且豎直，直到 |
1 米處的噪音級別 | <50 dB（A） |
泵可以承受的zui大磁場 | 5 mT |
*控制器 | TIC100 分子泵和儀器控制器 |
靜止電功率 | 10 W |
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