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低脈動氣動風(fēng)囊泵● 低脈動的系統(tǒng)驅(qū)動機制,確保氣囊運動效果,將脈動減到?!?減低壓縮空氣消耗量在不影響泵的性能下,減少高達30%的壓縮空氣消耗量。● 高持續(xù)壓力的氣囊運動,有效提高壓力的承受能力,以維持穩(wěn)定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力,尤其在單晶圓處理過程中?!?無需阻尼器泵的運作無需使用阻尼器,節(jié)省設(shè)備空間及安裝費用,例如氟塑料接管等。整體設(shè)備的重量/尺寸得以最小化。
● 低脈動
的系統(tǒng)驅(qū)動機制,確保氣囊運動效果,將脈動減到。
● 減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下,減少高達30%的壓縮空氣消耗量。
● 高持續(xù)壓力
的氣囊運動,有效提高壓力的承受能力,以維持穩(wěn)定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力,尤其在單晶圓處理過程中。
● 無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器,節(jié)省設(shè)備空間及安裝費用,例如氟塑料接管等。整體設(shè)備的重量/尺寸得以最小化。
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