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烤膠機(jī)-高均勻性_程序控制

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

加熱板專業(yè)制造商-易拓(ETOOL)提供不同型號(hào)烤膠機(jī)（hot plate）又名烘膠臺(tái)，烤膠機(jī)，熱板，熱臺(tái)?？灸z機(jī)主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘，曝光后烘烤，顯影后的堅(jiān)膜，磨片粘片熔蠟。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

　　ET-150基本型烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時(shí)、高熱均勻性的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)定時(shí)控溫烤膠操作。

　　ET-150烤膠溫度300℃(更高溫度450,500度可選)，穩(wěn)定控溫后可實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)在±0.2℃以內(nèi)，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作。自帶計(jì)時(shí)器，可進(jìn)行烤膠計(jì)時(shí)并報(bào)警功能。

　　一，烤膠機(jī)產(chǎn)品性能參數(shù)：

　　1、溫度范圍：室溫~350，溫控可調(diào)

　　2、溫度分辨率　0.1℃(100度下) 100度上溫度分辨率　1℃(原裝宇PID數(shù)顯)

　　3、恒溫波動(dòng)度：《±1-2%℃

　　4、溫度均勻性《±2%(溫度時(shí)，工作臺(tái)板上9點(diǎn)溫度均勻性)

　　5、時(shí)間分辨率　0.1S（現(xiàn)貨款沒(méi)有,可訂制）

　　6、加熱功率：600W

　　7、加熱工作臺(tái)板尺寸：150*150*20mm

　　8、使用溫度：350℃

　　8、產(chǎn)品外型尺寸：200(D)*200(W)*150mm(H)


烤膠機(jī)面板
 

　　二，烤膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹：

　　●　加熱板面積220mm*220mm，適合8"圓晶尺寸;

　　●　陽(yáng)極硬質(zhì)氧化鋁面板或鍍特氟龍耐腐蝕不粘面板;

　　●　加熱獨(dú)立電路控制，方便開(kāi)始和停止加熱;

　　●　高精度大屏數(shù)顯溫控表控制，全不銹鋼機(jī)身，經(jīng)久耐用;

烤膠機(jī)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖
烤膠機(jī)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)圖

　　●　特殊的隔熱設(shè)計(jì)和長(zhǎng)壽命、高均勻性發(fā)熱部件采用;

　　●　自帶數(shù)顯計(jì)時(shí)器，方便烤膠計(jì)時(shí);

　　●　自帶報(bào)警蜂鳴器，時(shí)間到達(dá)報(bào)警;

　　●　帶熱輻射保護(hù)蓋，更高的烤膠均勻性。

　　●　烘烤時(shí)間減少;

　　●　重復(fù)性高;

　　●　對(duì)薄膜的固化效果好。

　　三，烤膠機(jī)用途：

圓晶烤膠機(jī)
圓晶烤膠機(jī)

　　烤膠機(jī)主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘，曝光后烘烤，顯影后的堅(jiān)膜，磨片粘片熔蠟。

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