深圳市邦企創(chuàng)源科技有限公司
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更新時間:2025-01-10 08:33:13瀏覽次數(shù):54次
聯(lián)系我時,請告知來自 農(nóng)機網(wǎng)ET系列晶圓光刻膠硅晶片烤膠機(熱板)適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。 高精度晶圓烤膠機特點: ● 采用
產(chǎn)品介紹
ET系列晶圓光刻膠硅晶片烤膠機(熱板)適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
● 采用微機PID溫度控制方式,可進行高精度的溫度控制。
● 顯示部分采用可視性好的背景光照明液晶畫面。
● 標準裝備了4種類型的定時功能(ON・OFF・ON/OFF・SET),程序控制功能最多可輸入8個步驟的溫度・時間。
● 運用數(shù)據(jù)記錄通訊專用軟件(CD-ROM)和通訊電纜(選配),可以簡單地用計算機進行管理。
● 使用傳感器(選配),可以直接控制試樣的溫度。
● 標準裝備報警信號輸出功能,在出現(xiàn)異常時可以停止其他設備和啟動預備系統(tǒng)。
● 主體正面操作部分與頂板之間裝備有安全燈(頂板溫度處于 55℃以下)。
型號 | BQ-1717 | BQ-2525 |
使用溫度范圍 | 室溫10~350℃ | |
溫度顯示精度 | F.S ±2% | |
溫度分布精度 | ±2℃ | |
傳感器 | K熱電偶 | |
安全裝置 | 自我診斷功能(上下限溫度異常檢測,加熱器異常檢測,傳感器異常檢測),異常加熱放置裝置(恒溫器),過電流熔斷器 | |
溫度控制方式 | 微電腦PID控制 | |
溫度顯示方式 | LCD數(shù)字顯示(同時顯示設定、測定溫度、顯示加熱器輸出線性圖) | |
定時功能 | 設定范圍為1分鐘—99小時59分鐘(1/min),支持傳感器、上下限溫度報警、報警信號輸出,設定值存儲,鍵鎖定,自動調(diào)節(jié)功能。 | |
程序控制 | 可設置8個步驟,重復次數(shù)最多可達9999次。 | |
頂板材質(zhì) | 鋁合金(陶瓷保護層) | |
分辨率 | 溫度分辨率為0.1℃,時間分辨率為1分鐘。 | |
加熱尺寸 | 170×170mm | 250×250mm |
外形尺寸 | 240×280×70mm | 320×360×70mm |
加熱功率 | 670W | 890W |
※溫度分布精度是在室內(nèi)環(huán)境溫度25℃(無風、無負荷、內(nèi)部傳感器用)、設定溫度為200℃時的參考值。 |
深圳邦企創(chuàng)源科技提供不同尺寸的烘膠設備(熱板,烤膠機)??灸z機主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘,曝光后烘烤,顯影后的堅膜,磨片粘片熔蠟等場景。
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