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晶圓光刻膠硅晶片烤膠機

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更新時間:2025-01-10 08:33:13瀏覽次數(shù):54次

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產(chǎn)品簡介

ET系列晶圓光刻膠硅晶片烤膠機(熱板)適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。 高精度晶圓烤膠機特點: ● 采用

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

  ET系列晶圓光刻膠硅晶片烤膠機(熱板)適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。

硅晶片烤膠機

  高精度晶圓烤膠機特點:

  ● 采用微機PID溫度控制方式,可進行高精度的溫度控制。

  ● 顯示部分采用可視性好的背景光照明液晶畫面。

  ● 標準裝備了4種類型的定時功能(ON・OFF・ON/OFF・SET),程序控制功能最多可輸入8個步驟的溫度・時間。

  ● 運用數(shù)據(jù)記錄通訊專用軟件(CD-ROM)和通訊電纜(選配),可以簡單地用計算機進行管理。

  ● 使用傳感器(選配),可以直接控制試樣的溫度。

  ● 標準裝備報警信號輸出功能,在出現(xiàn)異常時可以停止其他設備和啟動預備系統(tǒng)。

  ● 主體正面操作部分與頂板之間裝備有安全燈(頂板溫度處于 55℃以下)。

晶圓烤膠機背面

型號

BQ-1717

BQ-2525

使用溫度范圍

室溫10~350℃

溫度顯示精度

F.S ±2%

溫度分布精度

±2℃

傳感器

K熱電偶

安全裝置

自我診斷功能(上下限溫度異常檢測,加熱器異常檢測,傳感器異常檢測),異常加熱放置裝置(恒溫器),過電流熔斷器

溫度控制方式

微電腦PID控制

溫度顯示方式

LCD數(shù)字顯示(同時顯示設定、測定溫度、顯示加熱器輸出線性圖)

定時功能

設定范圍為1分鐘—99小時59分鐘(1/min),支持傳感器、上下限溫度報警、報警信號輸出,設定值存儲,鍵鎖定,自動調(diào)節(jié)功能。

程序控制

可設置8個步驟,重復次數(shù)最多可達9999次。

頂板材質(zhì)

鋁合金(陶瓷保護層)

分辨率

溫度分辨率為0.1℃,時間分辨率為1分鐘。

加熱尺寸

170×170mm

250×250mm

外形尺寸

240×280×70mm

320×360×70mm

加熱功率

670W

890W

※溫度分布精度是在室內(nèi)環(huán)境溫度25℃(無風、無負荷、內(nèi)部傳感器用)、設定溫度為200℃時的參考值。

烘膠設備廠家展示

深圳邦企創(chuàng)源科技提供不同尺寸的烘膠設備(熱板,烤膠機)??灸z機主要用于光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠后的軟烘,曝光后烘烤,顯影后的堅膜,磨片粘片熔蠟等場景。  


關鍵詞:傳感器
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