深圳市邦企創(chuàng)源科技有限公司
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更新時間：2025-01-09 14:03:08瀏覽次數(shù)：77次
聯(lián)系我時，請告知來自 農(nóng)機網(wǎng)進口勻膠機設(shè)備證明了可以在小型、靈活和更便宜的設(shè)備上實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備的均勻性，擁有10年的勻膠設(shè)備制造歷史，熱板的0.3%的溫度均勻性，和勻膠轉(zhuǎn)速小于0.2rpm轉(zhuǎn)速精度及可重復(fù)性居于業(yè)內(nèi)前沿。設(shè)備擁有多項行業(yè)內(nèi)和標準，通過不斷把前沿的技術(shù)融
產(chǎn)品介紹
進口勻膠機設(shè)備證明了可以在小型、靈活和更便宜的設(shè)備上實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備的均勻性，擁有10年的勻膠設(shè)備制造歷史，熱板的0.3%的溫度均勻性，和勻膠轉(zhuǎn)速小于0.2rpm轉(zhuǎn)速精度及可重復(fù)性居于業(yè)內(nèi)前沿。設(shè)備擁有多項行業(yè)內(nèi)和標準，通過不斷把前沿的技術(shù)融入設(shè)備中，將繼續(xù)半導(dǎo)體下一代工藝的前沿。在擁有超過1500個客戶，其中包括的：杜邦、朗訊、德州儀器、Axcelis Technologies、摩托羅拉、希捷、Sony音樂、IBM 、道康寧、BAE系統(tǒng)公司和IBM等，在中國也擁有眾多的成功客戶。
采用無刷伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋(丙烯酸材質(zhì))，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
勻膠機、熱板裝置
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序：250，000種程序，無限制程序步驟，每個步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm(16,000rpm可選)
旋涂加速度：0-30000rpm/sec(空載)
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm
工藝時間設(shè)定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
支持wafer尺寸1cm-200mm
旋涂作業(yè)均勻性：±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
溫控精度: 0.1°C
溫控范圍:室溫-300攝氏度(400攝氏度可選)
溫度均勻性 :±0.3%(工作范圍內(nèi))
熱板工作模式(真空模式、接近模式、接觸模式)
部分選件：
可加裝背面清洗、去邊裝置
可程控自動點膠裝置(容量30-50ml,360ml,1GL)
噴涂顯影裝置(噴液、吹氮、去離子水)
精確溫度曲線控制
惰性氣體環(huán)境加熱固化
大尺寸勻膠機 超重襯底勻膠機
(可用于TFT-LCD勻膠)
勻膠機主要性能指標
主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
旋涂程序：700種程序(200FX)，每個程序15步，每個步驟可精確到0.1秒
旋涂程序：250種程序(200HD)，每個程序15步，每個步驟可精確到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度：0-6,000rpm(12,000rpm可選)
旋涂加速度：0-30000rpm/sec
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm
工藝時間設(shè)定： 0-999.9 sec/step 0.1 精度
支持大尺寸TFT-LCD勻膠工藝16”x16“方片(200FX系列)
支持wafer17“圓片，12”x12“方片(200HD系列)
適用于FPD襯底和較重襯底(200HD系列)的化學(xué)試劑涂布
特殊的卡盤設(shè)計，可保證大尺寸Substrate邊緣效應(yīng)最小化。
選件：
可程控自動點膠裝置(多種30-50ml,360ml,1GL)可編程的吮吸系統(tǒng)(Programmable Suckback System) 可以防止多余的膠從管嘴溢出。 可加裝背面清洗、去邊裝置和噴涂顯影裝置.產(chǎn)品可加裝噴嘴，可同時適用多種材料的光刻材料及去離子水清洗功能。 加裝自動點膠裝置的勻膠機。
加裝自動點膠裝置的勻膠機
自動點膠勻膠機
主要性能指標
點膠頭不會殘留溢出
點膠數(shù)量可程序控制，控制精度1ml
點膠裝置容量分為30-50ml(針筒型),360ml(彈夾型),1GL(壓力罐型)三種
首先提供真空的真空泵一定要采用無油真空泵，還要考慮由于誤操作導(dǎo)致的意外吸膠，如果氣路被膠液堵塞，將損壞設(shè)備內(nèi)的電子器件，堵塞電機軸，而且維修困難，影響設(shè)備的正常使用。
在防堵膠方面，赫里科特(Helicoater)的做法值得推廣，HC系列勻膠機均配置有儲液腔，當有膠液意外進入管路，將在儲液腔內(nèi)截留并存儲，不會影響管路后續(xù)元器件的正常使用，定期清理也很方便。這個特殊的設(shè)計非常有用，成為勻膠機設(shè)備的一個額外的保險裝置。為了防止由于真空度不足，導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，
全系列勻膠機(HC150，HC160，HC220)均配置有真空安全檢測裝置和蓋子安全互鎖裝置，確保操作者安全。
3、材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，有些低端勻膠機采用的是PP注塑成型的內(nèi)腔，或者是采用沖壓成型的金屬盆做為內(nèi)腔，這些材質(zhì)對各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，而且這種內(nèi)腔是呈上口大下口小的錐形，高速旋涂過程中，甩出的溶液與內(nèi)腔壁碰撞后，會回濺到基片上，造成基片質(zhì)量下降。
造成這種情況的原因是，注塑成型或沖壓成型加工方式為了便于脫模，必須加工成上口大下口小的形狀，材料成本低，加工成本也低，損害的設(shè)備的品質(zhì)，降低了用戶使用體驗。
在這個細節(jié)方面，赫里科特(Helicoater)堅持采用大尺寸耐腐蝕HDPE材料，采用CNC加工中心按照圖紙一體化精細加工成型，內(nèi)腔表面光潔，內(nèi)腔壁呈凹面結(jié)構(gòu)，上口小，下口大，高速甩出的溶液與內(nèi)腔壁碰撞后，向下方濺射，有效避免了膠液回濺，對于重視薄膜質(zhì)量的用戶來講，這將非常關(guān)鍵。
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