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NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動(dòng)原子力顯微鏡

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

Park Systems推出革命性的NX-3DM全自動(dòng)原子力顯微鏡系統(tǒng)，專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測(cè)量而設(shè)計(jì)。借助的XY軸和Z軸獨(dú)立掃描系統(tǒng)和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側(cè)壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰(zhàn)。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可實(shí)現(xiàn)帶有高長寬比的柔軟光刻膠的無損測(cè)量。

納米測(cè)量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領(lǐng)域擴(kuò)展到實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中。面對(duì)這一成本挑戰(zhàn)，Park Systems帶來了工業(yè)級(jí)的原子力顯微鏡解決方案，讓自動(dòng)化測(cè)量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉(zhuǎn)而采用高效、自動(dòng)化且價(jià)格實(shí)惠的3D原子力顯微鏡，進(jìn)一步降低線上工業(yè)制造的測(cè)量成本。現(xiàn)如今，制造商需要3D信息來表現(xiàn)溝槽輪廓和側(cè)壁變形異特征，從而準(zhǔn)確找到新設(shè)計(jì)中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了快速的軟硬件更換，使得升級(jí)更為劃算，從而不斷優(yōu)化復(fù)雜并且苛刻的生產(chǎn)質(zhì)量控制測(cè)量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進(jìn)一步減少購置成本。傳統(tǒng)的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True Non-Contact™模式能夠有效地保護(hù)探針，延長其使用壽命。

基本技術(shù)

200 mm電動(dòng)XY平臺(tái)	300 mm電動(dòng)XY平臺(tái)	電動(dòng)Z平臺(tái)
行程可達(dá)275mm x 200mm, 0.5 μm分辨率	行程可達(dá)400 mm x 300 mm， 0.5μm分辨率小于1μm的重現(xiàn)性	27 mm Z行程距離 0.08μm 分辨率小于1μm
Z掃描范圍	Z掃描噪音	Z向探針噪音
15μm（大模式）分辨率 0.016nm 2μm （小模式）分辨率 0.002nm	小于0.05nm	0.02 nm
200mm 系統(tǒng)	300mm 系統(tǒng)	設(shè)備需求環(huán)境
1500mm x980mm x 2050 mm 大約1020kg	1840mm x 1170 mm x2050 mm 大約 2950 kg	室溫10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 濕度 30%~60%