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燃?xì)庑孤z測(cè)儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

燃?xì)庑孤z測(cè)儀

詳細(xì)介紹

無(wú)油高真空系統(tǒng),適合于高分辨率FE-SEM觀察前樣品鍍膜機(jī)TEM/EDX噴涂要求;也可應(yīng)用于制備多層膜樣品
*功能:金屬濺射鍍膜/輝光放電/蝕刻(樣品清潔)/碳絲蒸發(fā)鍍膜/碳棒蒸發(fā)鍍膜/金屬熱阻蒸發(fā)鍍膜/加裝液氮冷臺(tái)(適配EM VCT100)
*帶有金屬靶檔板,適用于特殊濺射靶材的預(yù)濺射,確保鍍膜純度
*可選配石英膜厚監(jiān)控器,可程序化控制膜厚,并反饋鍍膜儀
*樣品室尺寸:標(biāo)配?106mm,選配?205mm(可容納wafer 152mm/6"圓形或127mm/5"方形)
*操作簡(jiǎn)單,帶有LED指示,機(jī)身印有操作說(shuō)明


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