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渦輪分子泵應(yīng)用于掃描電鏡 SEM

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  Pfeiffer vacuum 普發(fā)真空
  美國(guó) HVA真空閥門

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詳細(xì)介紹

渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
上海伯東德國(guó) Pfeiffer Hipace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在掃描電子顯微鏡 SEM 設(shè)備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡(jiǎn)稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實(shí)現(xiàn)成像. 空氣的存在會(huì)使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利于保持樣品室的清潔度; 電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時(shí)需要在真空環(huán)境下, 平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空室.

HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和質(zhì)譜行業(yè)量身定做的產(chǎn)品, 分子泵低振動(dòng)和低磁場(chǎng)設(shè)計(jì), 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設(shè)備里.
Pfeiffer Hipace Plus 渦輪分子泵目前在售型號(hào) Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 舉例,主要技術(shù)參數(shù)如下:

型號(hào)	渦輪分子泵 HiPace 300			渦輪分子泵 HiPace 300 Plus
允許環(huán)境磁場(chǎng)	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 3 mT	≤ 3 mT		≤ 3 mT
允許磁場(chǎng)	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT		5.5 mT
噪音	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)		≤50 dB(A)
安裝方式	任意位置安裝			垂直,法蘭向上
進(jìn)氣口	DN 100 ISO-K	DN 100 CF-F	DN 100 ISO-F	DN 100 ISO-K		DN 100 ISO-K	DN 100 ISO-K
極限真空度	<1X10^-7 hPa	< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa	<1X10^-7 hPa		< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa
Ar 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
H2 抽速	220 l/s	220 l/s	220 l/s	220 l/s		220 l/s	220 l/s
He 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
N2 抽速	260 l/s	260 l/s	260 l/s	260 l/s		260 l/s	260 l/s
Ar 壓縮比	> 1X10¹¹
H2 壓縮比	9X10⁵
He 壓縮比	> 1X10⁸
N2 壓縮比	> 1X10¹¹
分子泵全速時(shí) Ar 氣體流量	7 hPa l/s	7 hPa l/s	7 hPa l/s	2 hPa l/s		2 hPa l/s	2 hPa l/s
分子泵全速時(shí) He 氣體流量	10 hPa l/s	10 hPa l/s	10 hPa l/s	8 hPa l/s		8 hPa l/s	8 hPa l/s
分子泵全速時(shí) H2 氣體流量	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s		> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s
分子泵全速時(shí) N2 氣體流量	14 hPa l/s	14 hPa l/s	14 hPa l/s	5 hPa l/s		5 hPa l/s	5 hPa l/s
Ar 前級(jí)真空	25 hPa	25 hPa	25 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
H2 前級(jí)真空	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa		8,5 hPa	8,5 hPa
He 前級(jí)真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
N2 前級(jí)真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa

Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>

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