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SDC-600半導(dǎo)體晶圓接觸角測量儀應(yīng)用領(lǐng)域

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產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體晶圓接觸角測量儀 Wafer水滴測試晶圓表面分析測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓（Wafer）工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓（Wafers）表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析，從而評估粘性，潔凈度及鍍膜。接觸角測量儀采用外形圖像分析（Shape image analysis）方法測量樣品表面親疏水性、潤濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設(shè)備

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體晶圓接觸角測量儀 Wafer水滴測試

　　一、概述(Summary)：

　　接觸角(contact angle)是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤濕程度的量度；接觸角現(xiàn)有測試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應(yīng)用廣泛,測值直接與準(zhǔn)確的還是外形圖像分析方法，接觸角測量儀采用外形圖像分析(Shape image analysis)方法測量樣品表面親疏水性、潤濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設(shè)備。

　　二、半導(dǎo)體晶圓接觸角測量儀應(yīng)用：

　　1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性：包括靜態(tài)接觸角，動態(tài)接觸角(前進(jìn)/后退接觸角)，接觸角滯后性等；

　　2、液滴在固體表面的起始滑動角(或滾動角)，滑動速度；(擴(kuò)張功能)

　　3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為；

　　4、固體表面自由能(surface free energy)，及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻(xiàn)；

　　5、液體在固體表面的粘結(jié)力(adhesion)、滯留力(retention)等；

　　6、固體表面在經(jīng)過清洗、處理后的結(jié)果(效果)評估：如潔凈度(cleanliness)，均勻性(homogeneity)，和表面能改變幅度等；

　　7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動態(tài)表/界面張力的測量；

　　8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場、在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測；

　　9、表面活性物質(zhì)(如表面活性劑)臨界膠團(tuán)溶度(CMC)的測量：包括全自動CMC測量，全自動有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化；

　　10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；

　　11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液/泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過程的測量和分析等。

　　12、全自動檢測整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測效率。

　　三、設(shè)備原理解析(Principle analysis)：

　　我司設(shè)備采用優(yōu)良的CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺，可進(jìn)行工作臺上下、前后等方向移動。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下，能讓用戶更好的對材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。